超高精度大型オプチカルフラット

 

大型機器の精度確認に最適

大型機器の平面度及び真直度の精度確認に必要です。

φ200mmでλ/30   (約0,02um)
φ300mmでλ/10以下 (約0,06um以下)など

最大でφ800mmまで製作が可能、また矩形形状も可能です。

*評価用貸出機を用意しています。

 

 
カテゴリー: 基準原器